Product
BST는 반도체 장비의 신뢰성과 안전을 위한 제품을 설계합니다.생산 현장의 문제를 기술로써 해결하며 고객에게 최적화된 솔루션을 제공하고 있습니다.
Side Storage
Side Storage는 Fume에 의한 Wafer 오염을 방지하기 위해 제작되었습니다. Wafer 표면의 미세한 Particle과 잔류 가스를 효과적으로 제거하여, 클린룸 환경에서도 안정적인 공정 품질을 유지할 수 있도록 설계했습니다. 또한 투명 용기를 적용해 exhaust line 내 Particle 오염 정도를 한눈에 확인할 수 있습니다. Single 및 Dual 타입으로 제공되며, EFEM 환경과 고객 장비에 맞춘 맞춤형 Modular 설계가 가능합니다. 고객 장비의 Modulation 또한 지원하여, 고객에게 최적화된 시스템 통합과 유지보수 효율성을 제공하고 있습니다.
Lifter System
Lifter System은 PM Chamber Lid가 열고 닫히도록 제작된 리프팅 장치입니다. 자동 개폐 기능으로 작업자의 환경 안전을 강화하고 작업 효율성을 높였습니다. 전용 리모컨으로 편리하게 조작할 수 있으며, 컨트롤러와 모터를 분리 설계하여 설치 공간을 최소화했습니다. Grating을 분리하지 않고도 속도 조정, A/S가 가능하도록 설계하여 유지보수가 편리합니다. 또한 사용 환경에 따라 Lid의 개폐 속도를 조절할 수 있어 운용 편의성을 극대화한 스마트 리프팅 솔루션입니다.
Precision Clear Lid
BST의 Precision Clear Lid는 반도체 공정 장비의 PM(Preventive Maintenance) 이후 진행되는 Wafer Align Teaching 작업을 보다 빠르고 정확하게 수행할 수 있도록 설계된 고정밀 장치입니다. 측정 Data를 실시간으로 모니터에 표시하여 작업자가 즉각적인 피드백을 받을 수 있으며, Teaching 과정의 오류를 최소화합니다. 기존 육안으로 확인했던 수동 방식 대비 Maintenance 작업 시간을 획기적으로 단축시킬 수 있으며, 작업자의 숙련도에 의존하지 않고 안정적인 Teaching Data를 확인할 수 있습니다.
GDP Seal Plug
GDP Seal Plug는 Chiller 운용 과정에서 발생하던 누설 문제를 근본적으로 해소한 BST만의 독자적인 솔루션입니다. 2차 밀폐로 Sealing 성능을 강화하였으며, 나사부또한 재설계를 진행하여 체결력을 더욱 향상시켰습니다. 구조와 재료를 최적화하여 Chiller 냉매로 O-ring이 부식되어 Leak가 발생하는 현상을 해결하였고, 이를 통해 Lid 및 Chiller 장비의 공정 안정성을 강화하였습니다. GDP Seal Plug는 구조와 재료 설계를 통해 시스템 신뢰성과 품질 완성도를 극대화한 정밀 기술력의 결과물입니다.
RF IR Temp View Watcher
CVD 장비의 ESC 및 RF Filter의 과전류로 인한 Burning 현상을 사전에 감지하여 공정의 신뢰성과 생산성 향상에 기여하는 제품입니다. 고정밀 적외선 센서와 전용 로직 개발을 통해 안정적인 온도 감지 및 제어가 가능합니다. LCD 표시 장치를 통해 직관적인 온도 모니터링이 가능하며, 장비측과 연동되어 온도 이상 시 자동으로 Interlock이 작동합니다. 실시간 온도 모니터링을 통해 장비 손상과 수율 저하를 예방하여 작업 효율성과 공정 안정성을 모두 확보할 수 있습니다.
PR Aging System
PR과 같이 Photo 공정에 사용되는 다양한 액상 용액을 상온에서 설정 시간동안 안정적으로 Aging할 수 있도록 설계한 시스템입니다. Signal Tower와 Touch Screen으로 작업 용액의 대기/동작/종료 상태를 시·청각적으로 확인할 수 있습니다. 본체의 하부에는 Aging 완료한 제품을 보관하는 전용 수납함이 배치되어 있으며, Wheel이 장착되어 있어 이동과 보관에 용이합니다. 고객사 공정 환경에 따라 보관 구조, 인터페이스 등의 구성을 자유롭게 커스터마이징할 수 있습니다. Touch 제어를 바탕으로 편리하고 안정적인 관리 환경에 기여하여 공정 품질 향상과 작업 효율을 극대화할 수 있는 시스템입니다.